电子级超纯水处理系统

满足半导体、面板等高科技行业的超纯水需求,水质稳定可靠

什么是电子级超纯水

电子级超纯水是经过多重工艺处理的高纯度水,通过去除各类杂质,达到极高的纯度标准。广泛应用于半导体、集成电路、液晶面板等高科技领域,是保证产品质量和良率的关键工艺用水。

电子级超纯水的主要特点:
  • 极高的纯度:电阻率达18.2MΩ·cm(25℃)。
  • 严格的有机物控制:TOC含量低于10ppb,确保工艺稳定性
  • 超低的微粒含量:颗粒物含量极低,避免污染产品
  • 稳定可靠的品质:水质持续稳定,确保生产工艺的可靠性
电子级超纯水系统

核心工艺技术

双级反渗透

采用高性能RO膜,两级反渗透系统可去除99.9%以上的溶解盐分,为后续处理提供优质进水。

EDI电去离子

连续电去离子技术,无需化学再生,连续产水,出水电阻率可达16MΩ.cm以上。

抛光混床

超纯树脂抛光系统,进一步去除微量离子,确保出水电阻率达到18.25MΩ.cm。

UV紫外杀菌

254nm和185nm双波长紫外线,杀灭细菌病毒,同时分解有机物,降低TOC含量。

超滤膜过滤

0.01μm超滤膜,有效去除细菌、病毒、胶体等微粒,保证水质的微生物安全。

脱气膜技术

膜式脱气器去除溶解氧和二氧化碳,防止管道腐蚀,提高水质稳定性。

超纯水水质标准

严格控制各项指标,确保水质稳定可靠

≥18
MΩ·cm

电阻率

<1
ppb

TOC含量

<0.1
个/mL

颗粒数(≥0.1μm)

<1
CFU/L

细菌含量

参数 单位 半导体用水 面板用水 光电用水
电阻率(25℃) MΩ·cm ≥18.2 ≥17.5 ≥16.0
总有机碳(TOC) ppb ≤1.0 ≤5.0 ≤10.0
颗粒物(≥0.1μm) 个/ml ≤1.0 ≤3.0 ≤5.0
硅(Si) ppb ≤0.5 ≤1.0 ≤3.0
钠(Na) ppb ≤0.1 ≤0.2 ≤0.5
氯(Cl) ppb ≤0.1 ≤0.2 ≤0.5
溶解氧(DO) ppb ≤5.0 ≤10.0 ≤20.0
细菌总数 CFU/ml ≤1.0 ≤1.0 ≤10.0

注:以上标准仅供参考,具体标准可根据客户需求定制

超纯水处理工艺

多级处理,层层把关,确保水质达标

1
原水预处理

多介质过滤、活性炭过滤

2
一级RO

反渗透脱盐

3
二级RO

深度脱盐

4
EDI

电去离子

5
抛光混床

最终纯化

6
超纯水

18MΩ·cm超纯水

预处理系统是超纯水处理的第一道工序,主要目的是去除原水中的悬浮物、胶体、有机物等大颗粒杂质,为后续处理创造条件。主要工艺包括:

  • 多介质过滤:去除水中悬浮物和胶体
  • 活性炭过滤:吸附水中有机物、余氯等
  • 精密过滤:进一步去除细小颗粒物
  • 加药系统:投加絮凝剂、杀菌剂等药剂

一级反渗透系统是超纯水处理的核心工艺之一,通过半透膜的选择性透过作用,去除水中的离子、有机物、胶体等杂质。主要特点:

  • 高脱盐率:可去除95%-99%的离子
  • 高截留率:对有机物、胶体、微生物等有很高的截留效果
  • 无相变过程:能耗低,运行成本低
  • 自动化程度高:运行稳定,维护简便

一级反渗透系统通常包括保安过滤器、高压泵、反渗透膜组件、清洗系统等。

混床系统是通过离子交换原理,进一步去除水中的离子,提高水的纯度。混床是阳离子交换树脂和阴离子交换树脂的混合床,具有以下特点:

  • 高脱盐效率:出水电阻率可达15-18MΩ·cm
  • 深度脱盐:可去除反渗透未能去除的微量离子
  • 水质稳定:出水水质稳定可靠

混床系统通常包括混床罐、再生系统、酸碱储罐等。

二级反渗透系统是在一级反渗透的基础上,进一步提高水质纯度的工艺。主要作用:

  • 深度脱盐:进一步去除水中的离子
  • 有机物去除:进一步降低TOC含量
  • 微生物控制:有效控制微生物繁殖

二级反渗透系统通常采用低压反渗透膜,能耗更低,水回收率更高。

抛光处理系统是超纯水处理的最后一道工序,用于进一步提高水质纯度,确保水质达到电子级超纯水标准。主要工艺包括:

  • 连续电去离子(CDI):通过电场作用,持续去除水中的离子
  • 紫外线杀菌:杀灭水中的微生物,同时分解有机物
  • 超滤:去除水中的颗粒物和大分子物质
  • 终端过滤:通过0.1μm或0.2μm的精密滤芯,确保出水无颗粒物

抛光处理系统通常采用模块化设计,可根据用水点的需求进行定制。

分配系统是将超纯水输送到各用水点的系统,是确保超纯水水质不受二次污染的关键。主要特点:

  • 管材选择:采用PVDF、PP、PFA等高纯度管材,避免水质污染
  • 循环设计:采用环路设计,确保水质不滞留
  • 在线监测:实时监测水质参数,确保水质稳定
  • 卫生连接:采用卫生级连接方式,避免死角和污染

分配系统通常包括循环泵、热交换器、在线监测仪表、阀门等。

我们的系统特点

专业设计,稳定可靠,满足高标准需求

水质稳定可靠

采用多重保障措施,确保水质长期稳定达标,满足高标准生产需求。

高回收率设计

系统水回收率可达75%-85%,大幅降低运行成本,节约宝贵水资源。

节能环保

采用高效节能设备和优化工艺,降低能耗30%以上,减少碳排放。

智能控制系统

采用先进的PLC控制系统和SCADA监控平台,实现全自动运行和远程监控。

维护便捷

模块化设计,便于维护和升级,降低维护成本,延长设备使用寿命。

定制化设计

根据客户需求和原水水质,提供定制化设计,确保系统最优性能。

应用领域

广泛应用于高科技产业的生产过程

半导体制造

芯片清洗、蚀刻工艺用水

显示面板

LCD、OLED面板生产

太阳能电池

硅片清洗、电池片制造

锂电池

电解液配制、电极清洗

成功案例

我们的超纯水系统已成功应用于多个行业

正帆电子超纯水系统

正帆电子超纯水系统

客户需求:30吨/小时电子级超纯水,水质要求电阻率≥18.2MΩ·cm,TOC≤1ppb。

解决方案:采用"预处理+一级RO+混床+二级RO+抛光处理"工艺。

项目成果:

  • 水质稳定达标,电阻率≥18.25MΩ·cm
  • 系统水回收率达到85%
  • 能耗比同类系统降低25%
  • 自动化程度高,运行稳定可靠
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武汉正源高理光学有限公司-超纯水系统

武汉正源高理光学有限公司-超纯水系统

客户需求:15吨/小时电子级超纯水,水质要求电阻率≥17.5MΩ·cm,TOC≤5ppb。

解决方案:采用"预处理+一级RO+EDI+二级RO+抛光处理"工艺。

项目成果:

  • 水质稳定达标,电阻率≥17.8MΩ·cm
  • 系统水回收率达到80%
  • 采用智能控制系统,实现远程监控
  • 运行成本比预期降低20%
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服务流程

从需求分析到运维服务,全程专业支持

01
需求分析

深入了解客户需求,分析原水水质,确定处理目标

02
方案设计

根据需求和原水水质,设计最优处理工艺和系统方案

03
设备制造

按照设计方案,生产制造高品质设备和系统

04
安装调试

专业团队现场安装设备,调试系统至最佳状态

05
试运行

系统试运行,验证水质,优化运行参数

06
验收交付

系统达标验收,正式交付客户使用

07
人员培训

对客户操作人员进行专业培训,确保系统正常运行

08
售后服务

提供长期技术支持和维护服务,确保系统稳定运行